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X-ray lithography technology for the fabrication of deep-submicron T-shaped gate 期刊论文  OAI收割
HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2003, 卷号: 27, 页码: #REF!
作者:  Xie, CQ;  Chen, DP;  Li, B;  Wang, DQ;  Ye, TC
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/04/12