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Improving the adhesion of hydrogen silsesquioxane (HSQ) onto various substrates for electron-beam lithography by surface chemical modification 期刊论文  OAI收割
Microelectronic Engineering, 2014
作者:  
Zhang, Zhiqiang;  Duan, Huigao;  Tang, Yuguo;  Li, Haiwen;  Wu, Yihui
  |  收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/07/28