机构

• 上海光学精密机械研究... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [2]

学科主题

• 光学 [1]
• 光学::物理光学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Translational-symmetry alternating phase shifting mask grating mark used in a linear measurement model of lithographic projection lens aberrations 期刊论文  OAI收割 applied optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 19, 页码: 3654-3663 Zicheng Qiu; Xiangzhao Wang; Qunyu Bi; Qiongyan Yuan; Bo Peng; and Lifeng Duan 收藏  |  浏览/下载：1045/213  |  提交时间：2010/04/19 Translational-symmetry alternating phase shifting mask grating mark used in a linear measurement model of lithographic projection lens aberrations 期刊论文  OAI收割 applied optics, 2009, 卷号: 48, 期号: 19 Zicheng Qiu, Xiangzhao Wang, Qunyu Bi, Qiongyan Yuan, Bo Peng, Lifeng Duan 收藏  |  浏览/下载：928/161  |  提交时间：2010/04/26