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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Preparation of high-quality Hf-aluminate films by EB-PVD 期刊论文  OAI收割 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1192-1194 Cheng, XH; Song, ZR; Yu, YH 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 ATOMIC-LAYER DEPOSITION  THERMAL-STABILITY  GATE DIELECTRICS  SI(100)  (HFO2)(X)(AL2O3)(1-X)  SI