机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 516-518 陈健; 陈德勇; 王军波 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/19 微机械电子系统  电热驱动谐振式微加速度传感器  三梁结构  交叉灵敏度  有限元模拟