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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2012, 期号: 5, 页码: 456-462 刘米丰; 熊斌; 徐德辉; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2013/02/22 共面波导  插入损耗  二氟化氙  硅腐蚀  低阻硅衬底