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	基于MEMS的集成三轴电化学地震检波器学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院大学, 2018 - \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2018/06/04 电化学地震检波器三轴集成灵敏度交叉耦合系数 MEMS
	微波辐射计静止轨道遥感试验技术期刊论文 OAI收割上海航天, 2018, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 49-59 作者: 谢振超; 徐红新; 安大伟; 何嘉恺; 张德海 \| 收藏 \| 浏览/下载：54/0 \| 提交时间：2018/08/13 静止轨道微波辐射计气象卫星遥感试验真实孔径灵敏度交叉比对微波成像
	基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究期刊论文 OAI收割传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 516-518 陈健; 陈德勇; 王军波收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2010/05/19 微机械电子系统电热驱动谐振式微加速度传感器三梁结构交叉灵敏度有限元模拟