机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅中氢、氦离子注入纳米孔层的形成及其应用：Smart-cutSOI及吸杂 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1998 张苗 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/06 SOI技术  硅集成电路技术  低功耗电路