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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [1]
• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 级联长周期光栅光谱特性 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2005, 期号: 08 崔丽萍; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/01/06 现场蒸汽生成退火  低压化学汽相淀积  隧穿氧化层   氮氧化硅光波导的制作途径、性质及应用 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 1998, 期号: 01 祖继锋; 余宽豪 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 氮氧化硅  等离子体增强化学汽相淀积  热氮化  溅射  光波导  低压化学汽相淀积