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	用于低温多晶硅制备的线光束整形系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2017, 卷号: 44 作者: 尹广玥; 游利兵; 王庆胜; 褚状状; 陈亮 \| 收藏 \| 浏览/下载：57/0 \| 提交时间：2020/11/23 激光技术线光束整形光束均匀性准分子激光退火低温多晶硅制备
	用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统期刊论文 OAI收割激光技术, 2016, 卷号: 040 作者: 尹广玥; 游利兵; 方晓东 \| 收藏 \| 浏览/下载：42/0 \| 提交时间：2020/11/25 激光技术平板显示准分子激光退火低温多晶硅光束整形匀光
	微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜期刊论文 OAI收割核聚变与等离子体物理, 2012, 卷号: 032 - \| 收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2020/10/26 电子回旋共振等离子体增强型化学气相沉积低温直接制备多晶硅薄膜