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Si离子注入对SIMOX SOI材料抗总剂量辐照性能的影响(英文) 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 03
杨慧; 张恩霞; 张正选
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/01/06