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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2005 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 刘玉菲; 刘文平; 李四华; 吴亚明; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2012/01/18 低温键合 气密性封装 苯并环丁烯 渗流模型 气密性   MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 刘玉菲   收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2012/03/06 芯片级原子钟  低温键合  气密性封装  苯并环丁烯(BCB)  渗流模型