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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [1]
2003 [1]
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共2条,第1-2条
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锂离子蓄电池高容量含硅负极材料研究进展
期刊论文
OAI收割
电源技术, 2004, 期号: 11
文钟晟
;
王可
;
解晶莹
;
杨军
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
加速度传感器
自检功能
静电驱动
侧壁扩散
绝缘工艺
质子注入MBE碲镉汞n-on-p结性能研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2003, 期号: 06
陈贵宾
;
李志锋
;
蔡炜颖
;
何力
;
胡晓宁
;
陆卫
;
沈学础
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
体硅工艺
侧壁扩散
绝缘工艺
加速度传感器