机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀