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上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2006 [2]
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偏离标准条件的OPC 模型以及OPC 相关的验证方法
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
陆梅君
收藏
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提交时间:2012/03/06
光学邻近效应修正
偏离标准条件
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光刻规则检查
设计规则
偏离标准条件的OPC模型以及OPC相关的验证方法
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
陆梅君
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2012/03/06
光学邻近效应修正
偏离标准条件
制程窗口
光刻规则检查
设计规则