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光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  
巩岩;  姚长呈
  |  收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2017/09/17
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  
东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳
收藏  |  浏览/下载:54/0  |  提交时间:2016/07/06