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机构
长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
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光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:
巩岩
;
姚长呈
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提交时间:2017/09/17
光学设计
主动光学
光刻物镜
热像差补偿
像散
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:
东立剑
;
赵磊
;
张德福
;
于新峰
;
倪明阳
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提交时间:2016/07/06
成像系统
主动光学
像散补偿
有限元分析