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长春光学精密机械与物... [2]
力学研究所 [1]
测量与地球物理研究所 [1]
沈阳自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [1]
发表日期
2015 [2]
2011 [1]
1999 [1]
1983 [1]
学科主题
固体力学 [1]
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共5条,第1-5条
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同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:
徐象如
;
黄玮
;
贾树强
;
徐明飞
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2016/07/06
成像系统
投影光刻物镜
热像差
元件位移
分区加热
用等效应力法分析温度变化对胶粘反射镜面形的影响
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 101-106
作者:
李文杰
;
王少鑫
;
穆全全
;
杨程亮
;
曹召良
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/07/06
光学检测
光学元件
面形分析
胶粘反射镜
温度变化
强迫位移约束
ZYGO干涉仪
基于负刚度预载荷机构的锥形介电型EAP驱动器研究
期刊论文
OAI收割
航空学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 1746-1754
作者:
朱银龙
;
王化明
;
赵东标
;
栾云广
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/05/29
负刚度
介电型EAP
预载荷机构
驱动器
机电耦合
输出位移
位移曲线
延伸率
弹性元件
输出力
线性压电材料的有限元分析
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 1999
作者:
杨亚政
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浏览/下载:1320/153
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提交时间:2009/04/13
有限元方法
压电材料
智能元件
应力强度因子
电位移强度因子
finite element method
piezoelectric materials
smart part
stress strength factor
elect-displacement strength factor
精密读数弹簧的研制
期刊论文
OAI收割
仪器制造, 1983, 期号: 5, 页码: 39-40
陈嘉鸥
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/02/17
测量弹簧:5762
弹性行为:3389
海洋重力仪:2850
位移灵敏度:2761
重力加速度:2687
弹性元件:2641
动态范围:2603
相对灵敏度:2575
内应力:2509
精密度:2374