机构

• 微电子研究所 [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]
• 2005 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 水泥预分解窑系统控制 会议论文  OAI收割 中国黑龙江哈尔滨, 2006 作者:  王卓;  吴星刚;  苑明哲   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/12/01 先进过程控制  预分解窑   等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 12, 页码: 4，1-4 作者:  刘明;  王巍;  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2010/05/26 等离子体刻蚀  先进过程控制  实时控制  流程与流程控制