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	紫外光刻光源设计与分析期刊论文 OAI收割机械工程师, 2013, 期号: 06, 页码: 15-16 作者: 谭向全收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2014/03/07 紫外光刻光源散热快门位置调节
	液晶光阀组式光刻快门控制电路的研究与设计期刊论文 OAI收割液晶与显示, 2005, 期号: 04, 页码: 333-336 陈赟收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2013/03/11 液晶光阀组光刻快门控制电路
	液晶光阀在光刻快门中的应用研究期刊论文 OAI收割液晶与显示, 2004, 期号: 06, 页码: 468-471 作者: 梁立辉收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2013/03/11 液晶光阀光刻快门感光特性光效曝光量