机构

• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割 制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者:  佟军民;  胡松 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术  接近式光刻机  对准系统  对准精度   高精度视频图像对准系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 杨维全 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2013/11/19 数字图像处理  改进的亚像素定位  VC＋＋编程  光刻机对准系统