机构

• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

学科主题

• 光学薄膜 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 光刻机系统中193nm薄膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 11, 14 尚淑珍; 易葵; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：1222/133  |  提交时间：2009/09/22 光刻  193nm  光学薄膜  准分子激光光刻  光刻机系