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亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  杨超
  |  收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2022/10/08
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
  |  收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2020/08/24
新型光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:  何立文;  罗乐;  孟钢;  邵景珍;  方晓东
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2020/10/26
自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹
  |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2020/08/24
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  毕丹丹
  |  收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2019/09/23
浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
  |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/09/17
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文  OAI收割
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑
  |  收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/04/09
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  刘健;  张春雷;  徐乐;  马占龙;  王飞
  |  收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2017/09/17
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17