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	亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究学位论文 OAI收割中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者: 杨超 \| 收藏 \| 浏览/下载：43/0 \| 提交时间：2022/10/08 光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿
	投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 \| 收藏 \| 浏览/下载：83/0 \| 提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜像质补偿技术柔顺微动机构主动变形镜
	同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究期刊论文 OAI收割光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118 作者: 徐象如; 黄玮; 贾树强; 徐明飞收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2016/07/06 成像系统投影光刻物镜热像差元件位移分区加热
	基于扩展Zernike多项式的投影物镜全视场像差优化研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者: 黄杨收藏 \| 浏览/下载：57/0 \| 提交时间：2015/07/30 投影物镜像差函数灵敏度矩阵计算机辅助装调
	基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院大学, 2014 作者: 李乐收藏 \| 浏览/下载：66/0 \| 提交时间：2015/05/03 非球面检测补偿镜迭代公差分配折射率均匀性