机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2018 [1]
• 2007 [1]
• 1997 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于条纹反射法的金刚石车床在位反射镜面形检测技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  邵山川   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/09/23 光学检测  在位面形检测  条纹反射法  超精密金刚石车削  系统标定   软X射线反射法测量金属W的光学常量 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2007, 期号: 10, 页码: 1903-1908 作者:  陈凯;  崔明启;  郑雷;  赵屹东 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/25 软X射线  金属薄膜  光学常量  反射法  曲线拟合   等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96 米宝永 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法