中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共8条，第1-8条

帮助

条数/页：排序方式：
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	图案化TiO2薄膜的制备技术期刊论文 OAI收割化学进展, 2008, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 66.1(0-5) 梁山; 陈淼收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2013/03/28 图案化 TiO2 膜自组装光刻胶光敏膜软刻蚀微接触印刷 patterned TiO2 films selfassembly photoresist photosensitivefilms softlithography microcontact printing
	光纤光栅制作技术研究期刊论文 OAI收割激光与红外, 2007, 期号: 4 作者: 孙斌; 王立军收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/09/25 光纤光栅光敏性全息相位掩膜
	相位掩膜法制作光纤布拉格光栅的研究期刊论文 OAI收割长春理工大学学报, 2006, 期号: 1 王蓟; 王国政; 赵崇光; 刘洋收藏 \| 浏览/下载：56/0 \| 提交时间：2012/09/25 相位掩膜法光敏光纤布拉格光栅
	分离膜表面光接枝技术研究进展期刊论文 OAI收割水处理技术, 2004, 卷号: 1, 期号: 4, 页码: 187-190 宋华; 吴光夏; 钟慧; 续曙光; 张东华; 尚彦文; 张维钧; 吴彤; 张绍来收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2015/05/28 表面光接枝分离膜聚合光敏剂
	单体光交联制备液晶垂直取向膜期刊论文 OAI收割物理学报, 2004, 期号: 01, 页码: 316-319 作者: 于涛; 宣丽; 彭增辉收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2013/03/11 光敏单体光交联液晶垂直取向膜六氟双酚A双肉桂酸酯
	由联苯酚双肉桂酸酯制备光控取向膜期刊论文 OAI收割应用化学, 2002, 期号: 08, 页码: 715-718 作者: 于涛; 宣丽; 彭增辉收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2013/03/11 联苯酚双肉桂酸酯光敏小分子光控取向膜红外二色性液晶织构
	由联苯酚双肉桂酸酯制备光控取向膜期刊论文 OAI收割应用化学, 2002, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 715-718 张春华; 杨正华; 丁孟贤; 于涛; 彭增辉; 宣丽收藏 \| 浏览/下载：132/0 \| 提交时间：2010/11/03 联苯酚双肉桂酸酯光敏小分子光控取向膜红外二色性液晶织构