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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2021 [2]
• 2012 [1]

学科主题

• 天文技术与方法 [2]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 五棱镜扫描法检测大口径平行光管光束平行性 期刊论文  OAI收割 光 学 技 术, 2021, 卷号: 47, 期号: 5, 页码: 582-586 作者:  华志远;  徐晨   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2022/03/31 光学测量  大口径  平行光管  光束平行性  五棱镜扫描法   五棱镜扫描法在光束平行性检测和镜面面形检测中的应用 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2021 作者:  华志远   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2021/09/23 光学测量  大口径  光束平行性  镜面面形  五棱镜扫描法   提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167 作者:  赵阳;  巩岩;  赵阳 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 几何光学  非平行反射扩束单元  子光束叠加  照明均匀性