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浏览/检索结果: 共42条,第1-10条 帮助

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色散条纹技术在拼接光栅位移检测上的应用 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:  
丁家奎
  |  收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2024/09/14
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  
宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
  |  收藏  |  浏览/下载:44/0  |  提交时间:2018/04/09
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文  OAI收割
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:  
宋莹
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2017/09/17
复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  
司新春
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2017/01/06
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  
姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2016/07/06
光电轴角编码器莫尔条纹误差信号补偿 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2015, 期号: 02, 页码: 647-653
作者:  
高旭;  万秋华;  李金环;  王玉婷;  逄仁山
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2016/07/06
绝对式光栅尺细分误差补偿方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 220-225
作者:  
乔栋;  续志军;  吴宏圣;  曾琪峰;  刘阳
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2016/07/06
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307
作者:  
司新春,佟军民,唐燕等
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2016/11/22
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文  OAI收割
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
张成山; 孟庆孔
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2015/04/17
增量式光栅尺指示光栅自动粘接系统的设计 期刊论文  OAI收割
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 6, 页码: 144-146
作者:  
李小虎;  王鹤
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2015/04/17