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色散条纹技术在拼接光栅位移检测上的应用
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
丁家奎
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2024/09/14
色散条纹
拼接光栅
纵向位移误差
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:
宋莹
;
赵旭龙
;
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
齐向东
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2018/04/09
全息
全息光栅
干涉条纹锁定
分束光栅
叠栅条纹
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:
宋莹
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2017/09/17
光栅
光栅曝光
数值计算
条纹相位变化
曝光对比度
掩模槽形
复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
司新春
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2017/01/06
复合光栅,光刻,对准,莫尔条纹
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
李文昊
;
宋莹
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/07/06
光栅
扫描干涉场曝光系统
干涉条纹周期测量
相位锁定
光电轴角编码器莫尔条纹误差信号补偿
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2015, 期号: 02, 页码: 647-653
作者:
高旭
;
万秋华
;
李金环
;
王玉婷
;
逄仁山
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/07/06
几何光学
光栅条纹
Hilbert-Huang变换
补偿
绝对式光栅尺细分误差补偿方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 220-225
作者:
乔栋
;
续志军
;
吴宏圣
;
曾琪峰
;
刘阳
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2016/07/06
测量
细分误差
傅里叶分析
绝对式光栅尺
叠栅条纹
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307
作者:
司新春,佟军民,唐燕等
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/22
傅里叶光学
二维光栅
光刻对准
叠栅条纹
频谱
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析
期刊论文
OAI收割
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
张成山
;
孟庆孔
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/04/17
光电式光栅刻划机
衍射光栅干涉仪
莫尔条纹
增量式光栅尺指示光栅自动粘接系统的设计
期刊论文
OAI收割
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 6, 页码: 144-146
作者:
李小虎
;
王鹤
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2015/04/17
指示光栅
自动粘接
悬空吸附
莫尔条纹