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• 高能物理研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于LIGA技术的光热驱动微开关研究 期刊论文  OAI收割 光学仪器, 2011, 期号: 2, 页码: 33-37 作者:  林星;  赵冬伟;  王波;  伊福廷;  张冬仙 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA  光热驱动  微开关  ANSYS仿真  光热偏转量   基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文) 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2011, 期号: 5, 页码: 436-439 作者:  章海军;  赵冬伟;  伊福廷;  王波;  张冬仙 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 光热微驱动器  微加工  微驱动  动态特性  激光