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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
成果 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
1996 [1]
1978 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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光电控制间歇运动衍射光栅机控制系统的改造升级
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 106-111
王炜
;
杨厚民
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/03/11
衍射光栅:4999
光栅刻划机:4628
光电控制:3958
间歇运动:3413
程控放大器:3301
机控制系统:2833
中断处理程序:1909
改进措施:1286
幅值细分:1090
数据采集:918
三号间歇式光电控制光栅刻划机
成果
OAI收割
全国; 科学院; 吉林省科技大会成果奖, 1978
张庆英
;
杨厚民
;
赵明辰
;
顾支吾
;
肖泽林
;
高文华
;
史兆礼
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提交时间:2014/11/24
光电控制
光刻机