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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2017 [1]
• 2013 [1]
• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 光瞳离轴自由曲面光学系统像差特性分析 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 102-111 作者:  史浩东;  张新;  李英超;  江伦;  王超   |  收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2018/04/09 几何光学  自由曲面  光瞳离轴  节点像差  泽尼克多项式   非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92 作者:  陈安;  林妩媚;  江海波 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/01 光刻仿真  非理想照明  光瞳偏心  离轴照明   照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 885, 890 郭立萍; 王向朝; 黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：1308/215  |  提交时间：2009/09/18 仪器  光刻  光刻仿真  离轴照明  光瞳非对称性