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• 上海光学精密机械研究... [1]

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• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 885, 890 郭立萍; 王向朝; 黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：1187/201  |  提交时间：2009/09/18 仪器  光刻  光刻仿真  离轴照明  光瞳非对称性