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机构
上海微系统与信息技术... [2]
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2017 [1]
2007 [1]
2006 [1]
学科主题
传感器 [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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小型化光纤声波/振动检测仪研制
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
吴杰春
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/06/07
小型化光纤声波/振动检测仪
光纤声传感器
嵌入式
基于MEMS技术的光纤声传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
许晓昕
收藏
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浏览/下载:36/0
  |  
提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
收藏
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浏览/下载:70/0
  |  
提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex 7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅