机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031 作者:  游利兵;  程超;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2020/11/23 全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管