机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 翘板式射频MEMS开关的研究 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 5，282-286 作者:  罗小光;  刘茂哲;  李全宝;  焦斌斌;  高超群   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/27 射频开关  单晶硅  微机电系统（mems）  静电驱动  驱动电压  共面波导（cpw）