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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  
孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜
  |  收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2021/07/06