机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 双离子束溅射制备非晶SiO_xN_y薄膜的强黄光发射(英文) 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2006, 期号: 03 瞿发俊; 徐华; 吴雪梅; 诸葛兰剑 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  接触平坦化  化学机械抛光  均匀性  凹陷效应