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大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计 期刊论文  OAI收割
真空科学与技术学报, 2017, 卷号: 37, 期号: 3, 页码: 250-254
作者:  
马路;  赵斐;  许竞;  程敏;  艾力·伊沙木丁
  |  收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2018/02/05