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	医用放射性同位素99Mo/99mTc生产现状和展望期刊论文 OAI收割原子核物理评论, 2019, 卷号: 036 作者: 李紫微; 韩运成; 王晓彧; 张佳辰; 王永峰 \| 收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2020/11/25 医用放射性同位素 99Mo/99mTc 生产方式分离纯化
	微生物发酵生产gamma-聚谷氨酸研究进展期刊论文 OAI收割应用与环境生物学报, 2018, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 1041-1049 作者: 房俊楠; 雷娟; 许力山; 姬高升; 刘杨 \| 收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2020/12/24 gamma-聚谷氨酸菌种选育条件优化发酵方式分离方法
	混合有机前驱体制备陶瓷基复合材料的热解与分相研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院, 2015 作者: 李捷文收藏 \| 浏览/下载：45/0 \| 提交时间：2016/03/24 混合前驱体溶液干燥方式相分离 C/SiC-ZrC生物质复合材料 C/C-HfB2-HfC-SiC复合材料抗烧蚀性能
	加热方式对自然循环太阳能集热系统传热特性的影响会议论文 OAI收割中国工程热物理学会, 2012 陈欢1; 张良1; 朱子钦1; 范利武1; 2; 俞自涛1; 胡亚才1; 洪荣华1; 樊建人2 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2013/03/20 太阳能热利用加热方式自然循环分离型热管
	加热方式对自然循环太阳能集热系统传热特性的影响会议论文 OAI收割 2012 作者: 俞自涛1; 胡亚才1; 洪荣华1; 樊建人2; 陈欢1 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2013/03/20 太阳能热利用加热方式自然循环分离型热管
	不同方式处理蛭石对磷吸附性能研究期刊论文 OAI收割应用化工, 2010, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 204-208 作者: 王爱勤; 郑易安收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2012/09/02 蛭石磷吸附处理方式磁分离 vermiculite phosphate adsorption treatment magnetic separation
	大型烟气脱硫塔配置旋风分离器的流场模拟期刊论文 OAI收割化学工程, 2010, 期号: 01, 页码: 38-41 作者: 彭园园; 宋健斐; 朱廷钰; 魏耀东收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2014/08/27 脱硫塔旋风分离器配置方式数值模拟速度不均匀度
	海湾扇贝微卫星标记开发及其分离方式分析 CNKI期刊论文 OAI收割 2009 作者: 李宏俊; 刘晓; 杜雪地; 宋蕊; 张国范 \| 收藏 \| 浏览/下载：2/0 \| 提交时间：2024/12/18 海湾扇贝(Argopecten irradians) 微卫星富集文库无效等位基因分离方式
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。