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长春光学精密机械与... [10]
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OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [9]
学位论文 [1]
发表日期
2018 [1]
2017 [1]
2016 [2]
2015 [2]
2014 [2]
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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
糜小涛
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2019/09/23
衍射光栅
光栅刻划机
微定位系统
控制器设计
刻线误差
测量系统
余弦误差
阿贝误差
大气折射率
衍射波前
基底面形误差
镀膜均匀性
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:
糜小涛
;
于海利
;
于宏柱
;
齐向东
;
李晓天
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浏览/下载:48/0
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提交时间:2018/04/09
衍射光栅
阿贝误差
衍射波前
刻线位置误差
刻划机
罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:
周辉
;
张善文
;
崔继承
;
王玮
;
赵旭龙
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2017/09/17
罗兰光栅
刻线误差
曲率半径误差
定位误差
在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 3, 页码: 857-863
作者:
吴娜
;
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
杨硕
;
赵旭龙
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2017/09/17
平面变栅距全息光栅
分辨率
刻线密度误差
聚焦曲线
谱像宽度
自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124
作者:
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
赵旭龙
;
杨硕
;
吴娜
收藏
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2016/07/06
自由电子激光器
平面变栅距光栅
全息曝光
刻线密度误差
分辨能力
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:
杨超
;
于海利
;
张善文
;
于宏柱
;
李晓天
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/07/06
光栅
刻划光栅
光栅波前
刻线位置误差
转角误差
压电驱动器
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
杨超
;
于海利
;
冯树龙
;
李晓天
;
齐向东
;
姜珊
;
唐玉国
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2015/04/17
刻划刀架
刻划光栅
刻线弯曲
刻线位置误差
光栅光谱
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
姜珊
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
宋莹
;
潘明忠
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2015/04/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
相位锁定
光栅周期
刻线误差
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
李晓天
;
巴音贺希格
;
齐向东
;
于海利
;
唐玉国
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2014/03/07
光栅
平面光栅
光栅刻线弯曲
光栅刻线位置误差
衍射波前
光栅指标
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 43-52
李晓天
;
巴音贺希格
;
齐向东
;
于海利
;
唐玉国
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2013/03/11
光栅
快速傅里叶变换
衍射波前
光栅指标
光栅刻线误差