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	ICP刻蚀InGaAs的微观损伤机制研究期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: 8 作者: 程吉凤; 朱耀明; 唐恒敬; 李雪; 邵秀梅 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2014/11/05 感应耦合等离子体铟镓砷 Raman光谱 Xrd 刻蚀损伤
	碲镉汞微台面干法隔离的ICP技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 周文洪 \| 收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/08/22 碲镉汞微台面列阵隔离 Icp刻蚀高占空比刻蚀损伤
	ICP刻蚀HgCdTe相关技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2006 作者: 郭靖 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/07/11 Hgcdte Icp Polymer Loading Effect Etch Lag 刻蚀损伤
	集成HgCdTe双色探测芯片技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2005 作者: 叶振华 \| 收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2012/07/11 Hgcdte 双色探测器能带结构干法刻蚀刻蚀损伤倒装芯片回流焊响应光谱