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OAI收割 [12]
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学科主题
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红外探测材料与器件 [1]
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共12条,第1-10条
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钢渣-粉煤灰机械活化制备地聚合物水泥的耐盐腐蚀性能研究
期刊论文
OAI收割
混凝土与水泥制品, 2017, 期号: 9, 页码: 88-91
作者:
蒋灶
;
徐中慧
;
徐亚红
;
李娜
;
李萍
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提交时间:2018/03/16
钢渣
粉煤灰
机械力
地聚合物水泥
耐盐腐蚀
电化学原子力显微镜在腐蚀研究中的应用
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2016, 卷号: 28, 期号: 4, 页码: 367-373
王慧如
;
杜翠薇
;
李晓刚
;
刘智勇
;
马宏驰
;
王伦滔
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/09/18
材料失效与保护
电化学原子力显微镜
腐蚀
成像
磁控溅射304不锈钢纳米晶薄膜点蚀行为研究
会议论文
OAI收割
中国腐蚀电化学及测试方法专业委员会2012学术年会, 中国四川成都, 2012
潘晨
;
刘莉
;
李瑛
;
王福会
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2014/01/10
纳米晶薄膜
点蚀行为
磁控溅射
纳米化
生长机制
纳米薄膜
粗晶材料
不锈钢
合金相
钝化膜
耐腐蚀
纳米材料
晶粒尺寸
溶液
anodic
metastable
形核
亚稳态点蚀
自修复
原子力显微镜:15
FEM analyses for influences of stress-chemical solution on THM coupling in dual-porosity rock mass
期刊论文
OAI收割
中南大学学报:英文版, 2012, 卷号: 19.0, 期号: 004, 页码: 1138
作者:
Zhang Yujun
;
Yang Chaoshuai
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2021/05/25
有限元耦合
双重孔隙
岩体应力
有限元分析
力化学
THM
应力腐蚀
机械加工工艺
海洋潮差浪溅区风浪力对海洋构筑物腐蚀附加载荷谱的影响
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2010, 期号: 4, 页码: 289-293
刘薇
;
王佳
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/04/12
海洋潮差浪溅区
波浪力
载荷腐蚀
腐蚀疲劳
季节性变化
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
用原子力显微镜研究铜合金微生物的腐蚀行为
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2008, 卷号: 1, 期号: 6, 页码: 321-324+330
杜一立
;
李进
;
葛小鹏
;
苑维双
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提交时间:2015/04/16
原子力显微镜
微生物腐蚀
生物膜
基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
韩建强
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/06
原子力显微镜
探针
无掩膜腐蚀
微电子机械系统
腐蚀研究的新动向——第12届亚太腐蚀控制会议(APCCC-12)简介
期刊论文
OAI收割
腐蚀与防护, 2001, 期号: 12, 页码: 509-510+529
郑玉贵
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/04/12
腐蚀控制:7066
腐蚀研究:4524
新动向:3123
局部腐蚀:2760
腐蚀损失:1823
原子力显微镜:1574
应力腐蚀:1534
探针技术:1229
腐蚀调查:1181
寿命预测:1072
高密度单脉冲电流对H62黄铜腐蚀性能的影响
期刊论文
OAI收割
材料保护, 2001, 期号: 7, 页码: 1-3+1
龙昕,郭晓楠,沈以赴,何冠虎,周本濂
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提交时间:2012/04/12
力腐蚀
高密度单脉冲电流
黄铜