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浏览/检索结果: 共23条,第1-10条 帮助

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超燃冲压发动机加速过程及等离子体对超声速火焰结构的影响 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:  
孟宇
  |  收藏  |  浏览/下载:296/0  |  提交时间:2019/11/07
超燃冲压发动机加速过程中燃烧不稳定性研究 会议论文  OAI收割
中国浙江杭州, 2019年8月25-28日
作者:  
孟宇
  |  收藏  |  浏览/下载:51/0  |  提交时间:2019/11/21
博士后出站报告-宇宙线暗能量和膨胀历史的研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院, 2017
作者:  
张明建
  |  收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2019/03/18
非均质泥石流形成过程动力学特征 期刊论文  OAI收割
水利学报, 2016, 卷号: 47, 期号: 7, 页码: 850-857
作者:  
舒安平;  孙江涛;  张欣;  王澍;  师哲
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2020/11/23
大气环流模式动力框架优化技术研究(新) 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  
王国江
  |  收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2015/07/02
秦皇岛花岗岩风化壳的剥蚀速率:宇宙成因核素26Al与10Be的研究 期刊论文  OAI收割
科学通报, 2015, 期号: 04
崔丽峰; 刘丛强; 徐胜; 赵志琦; 涂成龙; 刘涛泽; 丁虎
收藏  |  浏览/下载:158/0  |  提交时间:2016/06/12
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
几种典型沙丘动力学特征的风洞模拟实验研究 学位论文  OAI收割
博士, 寒区旱区环境与工程研究所: 中国科学院寒区旱区环境与工程研究所, 2006
李芳
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2013/08/22
相对论飞秒激光脉冲在真空中对预加速电子的加速 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 9, 页码: 4203, 4207
何峰; 余玮; 徐涵; 陆培祥
收藏  |  浏览/下载:1104/209  |  提交时间:2009/09/18
加速溶剂萃取技术及萃取系统 期刊论文  OAI收割
环境化学, 2002, 卷号: 1, 期号: 4, 页码: 410-411
刘勇建; 牟世芬
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2015/06/05