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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅衬底超精密CMP中抛光液的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 钟旻; 张楷亮; 宋志棠; 封松林 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/18 化学机械抛光 胶体SiO2 抛光速率 抛光液