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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2004 [1]
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SiGe源结构SOI器件浮体效应的模拟与分析
会议论文
OAI收割
上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004
朱鸣
;
林青
;
张正选
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/18
半导体器件 体硅材料 浮体效应 SOI电路 SiGe源结构