机构

• 沈阳自动化研究所 [3]
• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2012 [1]
• 2009 [1]
• 2008 [2]
• 2004 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 面向半导体设备的Interface A通信方法研究 期刊论文  OAI收割 机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 273-275 作者:  刘明哲 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/10/24 半导体设备  Interface A  数据采集  工厂自动化   绿色新星——超临界二氧化碳无损清洗设备 期刊论文  OAI收割 科技创新与品牌, 2009, 期号: 11, 页码: 2，32-33 作者:  中国科学院微电子研究所超临界技术课题组   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/06/01 清洗设备  二氧化碳  临界  清洗技术 表面张力  半导体  极性分子  二次污染   虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文  OAI收割 硕士, 沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008 石泽兴 收藏  |  浏览/下载：94/0  |  提交时间：2010/11/29 半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  VRML   半导体设备控制中SEMI标准模型研究 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 687-690 作者:  于海斌;  刘明哲;  徐皑冬   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/11/29 集成电路  电路制造  电路工艺  半导体设备   集成天线电子标签的设计及仿真 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 高丹   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 集成天线:7247  电子标签:6701  射频接口:620  读写设备:597  半导体技术:595  高频技术:581  电磁耦合:568  混合电路:524  内部逻辑:515  数据保护:511