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长春光学精密机械与物... [2]
宁波材料技术与工程研... [1]
合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2018 [1]
2003 [1]
1995 [2]
学科主题
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共4条,第1-4条
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MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745
作者:
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2018/12/04
微机电系统(Mems)
固体波动陀螺仪
超高q值
单晶金刚石
3d超精密加工
采用正交法研究金刚石偏压形核
期刊论文
OAI收割
材料开发与应用, 2003, 卷号: 018
-
  |  
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2020/10/26
偏压形核
化学气相沉积
正交试验
金刚石
微波等离子体
单晶硅衬底
薄膜
金刚石车削单晶锗的试验研究
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 1995, 期号: 06, 页码: 45-46+78
阎纪旺
;
于骏一
;
史国权
;
马文生
;
韩荣久
;
黄巍
收藏
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提交时间:2013/03/11
金刚石车削
单晶锗
表面质量
韧性切削
金刚石车削单晶锗平面表面粗糙度扇形分布特征的研究
期刊论文
OAI收割
自然科学进展, 1995, 期号: 05, 页码: 18-24
史国权
;
蔡永祥
;
于骏一
;
马文生
;
韩荣久
;
黄巍
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/03/12
单晶锗
金刚石车削
表面粗糙度
扇形分布