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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [1]
2012 [1]
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电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者:
朱春霖
;
胡昊
;
焦庆斌
;
谭鑫
;
巴音贺希格
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提交时间:2020/08/24
金属光栅
在线监测
严格耦合波理论
占宽比
电流密度
能量损耗
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
韩建
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
孔鹏
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提交时间:2013/03/11
光栅
曝光量
条纹对比度
占宽比
槽深