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SiGe/Si(100)外延薄膜材料的应变表征研究 期刊论文  OAI收割
核技术, 2005, 期号: 04
陈长春,余本海,刘江峰,曹建清,朱德彰
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/07/04