机构

• 高能物理研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 1982 [1]

学科主题

• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2015/06/02 氮化铝  MEMS  谐振器  有限单元法  压电系数测试  ICP刻蚀   北京引力波天线(M=1300kg)室温下参数及噪声测量 期刊论文  OAI收割 科学通报, 1982, 期号: 24, 页码: 1483-1485 作者:  胡仁安;  刘易成;  秦荣先;  谭大均;  田景发 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2015/12/21 引力波  M=1300kg  压电陶瓷换能器  噪声测量  探索性实验  噪声测试  组合方法  灵敏度比  耦合系数  广州中山大学