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集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2009
于海涛
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2012/03/06
BioMEMS和人体植入式生物微系统 期刊论文  OAI收割
微纳电子技术, 2005, 期号: 08
刘菁; 赵建龙; 金庆辉
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2012/01/06
硅基集成纳机电探针技术的研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2004
杨尊先  
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/03/06