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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2005 [1]
2004 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
于海涛
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提交时间:2012/03/06
微机电系统
生化传感器
悬臂梁
电热驱动
压阻检测
快速重复检测
超枝化敏感膜
多壁碳纳米管
BioMEMS和人体植入式生物微系统
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2005, 期号: 08
刘菁
;
赵建龙
;
金庆辉
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/01/06
NEMS
压阻敏感器
纳机电探针
数据存储
硅基集成纳机电探针技术的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
杨尊先
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/06
纳电子机械系统
纳机电探针
高密度存储
压阻敏感器
电热针尖